一、什么是玻璃微熔压力传感器?
玻璃微熔压力传感器是一种采用特殊玻璃微熔工艺制造的高性能压力测量装置。它通过将硅压阻芯片与玻璃基板在高温下微熔键合而成,具有精度高、稳定性好、耐腐蚀性强等显著特点,被广泛应用于工业自动化、航空航天、医疗设备等领域。
这种传感器的核心优势在于其独特的制造工艺——玻璃微熔技术,能够在分子层面实现硅芯片与玻璃基板的完美结合,避免了传统胶粘方式带来的老化、蠕变等问题。
二、玻璃微熔压力传感器的工作原理
玻璃微熔压力传感器基于压阻效应工作,其核心部件是一个带有惠斯通电桥的硅膜片。当外界压力作用于传感器时:硅膜片发生形变⇒嵌入膜片中的压敏电阻阻值随之变化⇒电桥输出与压力成正比的电压信号⇒信号经放大和调理后输出标准信号。
玻璃微熔工艺制造的传感器具有更高的灵敏度,因为玻璃基板与硅芯片的热膨胀系数匹配良好,减少了温度变化带来的测量误差。
三、玻璃微熔压力传感器的优点
1. 卓越的长期稳定性:玻璃微熔工艺消除了传统粘合剂的老化问题,确保传感器在长期使用中保持稳定的性能表现,年漂移量可控制在0.1%FS以内。
2. 优异的温度特性:-40°C至125°C宽温范围内保持高精度,温度误差可控制在±0.5%FS以内。
3. 强大的抗腐蚀能力:玻璃材质本身具有优异的耐腐蚀性,可选316L不锈钢隔离膜片,适用于恶劣介质测量。
4. 高精度测量:典型精度可达±0.1%FS,分辨率高达0.01%FS。
四、应用场景
工业过程控制:石油化工、电力能源等行业的压力监测
医疗设备:呼吸机、透析机等医疗仪器的精密压力测量
汽车电子:发动机管理系统、刹车系统压力检测
航空航天:飞行器液压系统、舱压监测